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气检仪（波纹管蓄能器）
气体探测器（波纹管蓄压器）是一种先进的能量存储设备，它通过波纹管的弹性变形来储存和释放能量。当系统压力上升时，波纹管膨胀，将压力能转化为弹性势能；而当系统压力下降时，波纹管恢复到其原始状态，释放所储存的能量以补充系统压力。
参数：
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真空室 |
每个真空室用于检测一个工件 |
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泄漏检测气体（微） |
氦气 |
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泄漏检测气体（宏）（工件） |
氮气 |
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工件密封方法 |
手动 |
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报警泄漏率 |
≤1×10-6 mbar·L/s |
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生产周期时间 |
每件≤60秒（包括工件进入和退出） |
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氦气回收率 |
≥80% |
关键词：
波纹管
工件
检测
气体
泄漏
系统
气检仪（波纹管蓄能器）
气体检测仪
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