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氦质谱检漏仪
质谱仪以氦气为示踪气体，结合气体分析仪检测泄漏。氦气因低背景噪声、小分子质量和低粘度而易于通过并扩散泄漏孔。作为惰性气体，氦气不腐蚀设备，是理想的示踪气体。向待测容器喷洒氦气，若存在泄漏，分析仪会响应，进而确定泄漏位置和泄漏量。
| 工位数 | 8 |
| 设备尺寸 | ≤长2000mm*宽2500mm*高2000mm |
| 警报泄漏率 | 1×10^-7 pa.m³/s |
| 氨水喷雾压力 | 2.5bar |
关键词：
检漏仪
泄漏
氦气
设备
分析仪
氨水
氦质谱检漏仪
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