压力传感器芯体氦检漏系统

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气密性检测设备

半导体行业-氦检漏设备

产品概述

根据氦检漏的基本检漏原理，用夹具将工件分成两个独立的密封腔体：充氦腔及检漏腔，用氦气作为示踪气体，向充氦腔内充入氦气，然后通过氦检漏仪探测检漏腔内的的氦气信号，能高精度迅速准确的判断工件的泄漏情况。

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产品详情

压力传感器芯体氦检漏系统

一：基本的工作原理：

二、基本参数

项目	参数
检漏精度	1.0E-8Pa.m³/sec
检测压力	50KPa(向下可调）
生产节拍	10秒/件

二：基本的功能

操作者将工件放在夹具内，按下启动按钮，夹具自动将产品密封，然后全自动地完成抽空，充氦，微漏检测、氦气排放等整个程序，生产节拍快，检漏精度高。

设备采用工艺流程自动化技术，将工艺设备与电气自动控制技术相结合，由PLC和触摸屏对整个工件检测工艺流程进行自动控制，操作者只需安装及卸载工件，不需操作者对每一个工艺过程的结果进行判断，由PLC程序根据预设的条件自动判断上一步骤的结果及完成下一步骤的执行，它不仅节省了体力劳动，更代替了人的判断和执行，将人从复杂的脑力劳动中解放出来。

由于产品整个检测工艺工程由设备自动完成，无需操作者的判断与执行，避免了人为因素对检测结果的影响，保证了操作的一致性、客观性、稳定性及可重复性。

关键词：

氦检漏

压力传感器

充氦腔

夹具

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